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EP6測量平臺(tái)是一款結(jié)構(gòu)簡單、高精確度、多功能、及高性價(jià)比的150mm基準(zhǔn)的探針臺(tái)，解決了一系列的測量難題。該探針臺(tái)采用了模塊化設(shè)計(jì)，提供了眾多的配置，旨在滿足諸如單切晶片至 150mm 晶圓、模塊、印刷電路板組件和微流體芯片等多種器件的精密電測量的需要。EP6可提供三種預(yù)配置的探針臺(tái)，均針對(duì)用戶的應(yīng)用及預(yù)算而優(yōu)化。